Молекулярное осаждение из паровой фазы - Molecular vapor deposition
Молекулярное осаждение из паровой фазы - это газофазная реакция между химически активными веществами на поверхности и должным образом восприимчивой поверхностью. Часто используются бифункциональные силаны , в которых один конец молекулы является реактивным. Например, функциональный хлорсилан (R-Si-Cl 3 ) может реагировать с поверхностным гидроксилом.группы (-ОН), приводящие к радикализованному (R) осаждению на поверхности. Преимущество газофазной реакции перед сопоставимым жидкофазным процессом заключается в контроле влажности окружающей среды, что часто приводит к перекрестной полимеризации силана, приводящей к образованию частиц на обрабатываемой поверхности. Часто используется нагретая вакуумная камера ниже атмосферного, чтобы обеспечить точный контроль реагентов и содержания воды. Кроме того, газофазный процесс позволяет легко обрабатывать сложные детали, поскольку охват реагентом обычно ограничен диффузией. В датчиках микроэлектромеханических систем ( МЭМС ) часто используется молекулярное осаждение из паровой фазы в качестве метода устранения прилипания и других паразитных проблем, связанных с взаимодействием поверхности с поверхностью.
Ссылки
 |
Эта статья о нанотехнологиях незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |